平（píng）麵加工工藝技術（shù）（下）

5.雙麵拋光法

雙麵拋光法適用（yòng）於平行度要求高（gāo）的薄片,如石英波片、濾光片、平行平麵窗等（děng），行星式雙麵研磨拋光機使用很廣泛,太多引（yǐn）進國外機床,國內風雷機械廠有這（zhè）類機（jī）床產品. 通常上（shàng）下拋光模用聚氨（ān）酯製造,中間（jiān）工件隔離圈用聚（jù）四氟乙烯薄板或有機玻璃板、PVC板製造,利（lì）用（yòng）工件在分離器孔的位置（zhì）互換使工件的平行（háng）度得到修正,工件的平麵性主要是拋光模的輪廓複印,要求高時（shí）仍（réng）要做微量修正，實際上,在二軸機上采用（yòng）檔圈也可以實現雙麵拋光,不僅可以加工平行平麵,還（hái）可以加工小圓柱棒,圖九是二軸機雙（shuāng）麵精磨與拋（pāo）光示意圖（tú）。

(三) 、計算機控製拋光與離子拋光

計算機控（kòng）製拋光(CCP)是利用小拋光（guāng）頭在工件上作局部拋修運動,邊檢邊修,再過幾個循環,使平麵達到很高的精度,離子拋光與CCP類似,把小拋光頭換成離子束就成了離子拋光,離子拋光不僅提高了麵形精度,而且（qiě）改善了（le）表麵粗糙度.計算機控製拋光在（zài）浙江大學、北京理工大學、長春光機所與成都光學工程中心等均先後開展這項研究工作,後者還從俄羅斯引進了CCP三（sān）軸與五軸拋光機（jī）,加工出不少高精度平麵.離子拋（pāo）光在國內仍屬空白（bái）.圖十是浙大CCP實驗（yàn）裝置與俄（é）羅斯國立光學研究所的計算機上控製拋光機.

圖十a.浙江大學試驗裝（zhuāng）置

圖十b.俄羅斯國立光（guāng）學（xué）研究所的計算機控製拋（pāo）光機

(四) 、單點金剛石飛切光學平麵

美國Pam&Pneumo Inc. 生（shēng）產的MSG-325金剛石車（chē）床用飛切方法加工過（guò）ø170mm KDP晶體高精度平行平麵,用（yòng）作倍頻器;用飛（fēi）切方法香港理工大（dà）學、雲南光儀廠（chǎng）等單位的Nanoform300也可以實現平麵的飛切.

我國為了解決270X270及310X310mmKDP平（píng）麵加工問題，近年引進了俄國NCM-600立式飛切平麵機床(圖十一)

圖十一.NCM-600立式飛（fēi）切平麵機床

加工工件直徑可達ø550mm,其工作原理為單點金剛石飛刀高速旋轉,形成一個圓的軌跡，工作的直（zhí）線運動,使單點包（bāo）絡成一個平麵,平麵的精度主要取決於機床運動的超（chāo）精密度.主軸（zhóu）跳動:0.05ｕm，主軸剛性：200N/um，導（dǎo）軌的（de）直線性0.1um/250mm,在這個機床上已經加工（gōng）出ø270KDP平麵,透過波麵達λ/2(PV)精（jīng）度,在此基礎上我國將開始研製這種機床,技術指標將超過（guò）MO-600的水平。

(五) 、棱鏡的大（dà）批量生產

對於等精度或（huò）低精度棱鏡（jìng）的大批量生產通常都是成條加工完成拋光,然後用內圓切割機割開（kāi）,如棱鏡尺寸小時可以用高（gāo）速排條鋸割（gē）開,一次（cì）可以同時（shí）切割多隻棱鏡（jìng）.棱鏡的精磨拋光可以用金屬夾具上盤（pán）,一個夾具（jù）可以加工一個麵(圖十二)或三個麵(圖十三).

(六)高精度棱鏡的加工方法

高精度棱鏡的批量生產通常采用組合光膠法.圖十（shí）四為用長方（fāng）體與平行平麵光膠板組合光膠加工直角屋脊棱鏡屋脊角的例子.

五、光學平麵的檢測

平麵的麵形檢測除用樣板看光圈、菲索幹涉儀看幹涉條紋以外特別推薦下列測量方法

平麵（miàn）麵形快速測量法

在立柱式幹涉儀上當主光線向上出射時,工件被檢麵可以在測環（huán）上東魏測量,定位麵（miàn）就是被檢麵,這樣就可以連續測量（liàng）,不需要（yào）重新調整工件位置,如圖十五為寧波華光儀（yí）器有限公司生產（chǎn）的（de）數字幹涉（shè）儀上（shàng）測量平（píng）麵數字條紋.

圖十五（wǔ）a.寧波華光儀器有限公司CQG-II車間數字幹涉儀（yí）(儀器全貌)