平麵度（flatness;planeness)，是屬於形（xíng）位公差中的一種，指物體表麵（miàn）具有的宏（hóng）觀凹凸高度相（xiàng）對（duì）理想平麵的偏差。在傳統的檢測方法中，平麵度的測量通常有：塞規/塞尺測量（liàng）法、液平麵法、激光平（píng）麵幹涉儀測量法（平晶幹（gàn）涉法（fǎ））、水平儀/數字水平儀測量法、以及打表測量法。

 

塞尺測量法，隻需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地（dì）進行平麵度的粗測。目前很多（duō）工（gōng）廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高，常規最薄塞尺為10um，檢測效率較低，結果（guǒ）不夠全麵（miàn），隻能檢測零件邊緣。

 

液平麵法（fǎ），基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平麵的平麵度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用（yòng）於（yú）測量精（jīng）度（dù）較低的平麵。

 

激光平麵幹涉儀測量法，最典型的用法是平晶幹涉法。但主要於測量光潔的小平麵（miàn）的測量，如千分頭測量麵，量規的（de）工作麵（miàn），光學透鏡。

 

水平儀測量法，廣泛用於工件表麵的直線度和平麵度測量。測量（liàng）精（jīng）度高、穩定性好、體積小（xiǎo）、攜（xié）帶方便。但（dàn）是用該方法測量時需要反複挪動儀器位置（zhì），記錄各測點的數據（jù），費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。

 

打表測量法，典型應用為平板測微儀及三（sān）坐（zuò）標儀，其中優（yōu）以三坐標儀（yí）為應（yīng）用最廣（guǎng）泛。測量時指（zhǐ）示（shì）器在待測樣品上移動，按選（xuǎn）定的布點測取各測量點相對於測量基準的數據，再經過數據處理評定出平麵度誤差。但（dàn）其效率較低，通（tōng）常一個樣品需要幾分鍾，離（lí）15ppm的期望相差甚遠。