傳(chuán)統的(de)光學係統設計通常利用(yòng)透(tòu)鏡的折射特性,但是對於需要在廣泛的激光波(bō)長範圍內實現多(duō)光譜(pǔ)成像的應用,基於透鏡的係統就明顯無法勝任了。相比之下,反射光學係統不但(dàn)能夠解決大功率多光譜傳輸,而且還能有效降低係統複雜度,節約本錢。
在激(jī)光(guāng)聚焦和多光譜成像應用中,折(shé)射式鏡頭的麵(miàn)型設計麵臨(lín)著兩大主(zhǔ)要挑戰:挑戰之一是散射,事實上這也是每種介質的固有特性,波長決(jué)定了光束(shù)通過鏡頭的速度。散射導致不同波長(zhǎng)的光線在聚焦時,焦點(diǎn)位置會有差異。複(fù)合鏡頭可以解決這個題目(mù)——通過選擇各種不同的材料做成鏡頭,由(yóu)於每種材料都具有不同的光學特性,因此彼此之(zhī)間可(kě)以互相平衡散射(shè)。
然(rán)而,這種方法隻能工作(zuò)在有限(xiàn)的波段,通(tōng)常是工作在一些(xiē)特殊波段,如可見(jiàn)光波段、近紅外(wài)波段以及(jí)短波紅外波段(SWIR)等。帶寬越寬,需要的元件就越多。這種折射方法除了需要花費更多的時(shí)間和本錢外,其光學透射範圍也會受(shòu)到各種鏡片的化學(xué)性質和固有特性的限製。
因此,這(zhè)便導致了折射係統的第二個缺點:吸收。在大功率激光(guāng)聚焦係(xì)統中,即使是很小一部分的光(guāng)能量被吸收,就可能導(dǎo)致鏡頭嚴重損壞。傳統的解決方案是選擇鏡頭材料以及鍍膜,以進步(bù)對(duì)應激光波優點的透射率。
不(bú)幸的是,當同時需要多(duō)譜成(chéng)像和大功率激光器時,這兩種解決(jué)方案並不能互相補足。在折射(shè)係統(tǒng)中,由於波段變寬,鍍膜所能夠達到的高透射任性能大大降低。因此對於一個傳統(tǒng)的鏡頭係(xì)統來說,要麽需要限製光譜範圍,要麽限製激光功率,這兩者不能同時滿足(zú)。
多透鏡(jìng)需求
突顯這種困境的潛伏本錢的一種應用是:在生產過程中檢測和修理平板顯(xiǎn)示。用可見光掃描整個平板表麵,以找有缺陷,一旦缺陷(xiàn)被識別(bié)出來,高功率激光束(通常由1064nm的Nd:YAG激光器輸出)就會對(duì)準缺陷部位進(jìn)行(háng)融化。對於服(fú)務於該應用的單獨光學係統,其必(bì)須在紅外(wài)波段和可見光波段(duàn)有著很高(gāo)的透射率。而且,係統必須要將紅外光和可見光聚焦在相同點,這樣才(cái)能(néng)保證激光束(shù)能夠可(kě)靠地投射到缺陷處。
即便是能夠找到合適的材料在如此寬泛(fàn)的波段都能提供優(yōu)良的透射性能(néng),如此複雜且要求苛刻的光學係統也會非常昂貴。因此,已經實施的解決方案就是使(shǐ)用兩組複合物鏡。第一(yī)組複合物鏡用於可見(jiàn)光掃描,通常結合氦氖激光器光斑通過係(xì)統(tǒng)透射用於(yú)準(zhǔn)直目的。當氦(hài)氖(nǎi)激光光斑指向缺陷部位時,透鏡係統的電動控製台就會移動(dòng)到此(cǐ)處,然後(hòu)用近紅外光來代替可見光路並進行激光往除。
由於需要多重鏡頭(tóu)組、電動(dòng)調(diào)整台等(děng),因此這種方案不但本錢高昂,而且(qiě)維修用度也非常高。近紅外鏡頭與可見光鏡頭不能夠(gòu)同時聚(jù)焦在相同的平麵,因(yīn)此係(xì)統的準直非常重要,以確保激光(guāng)燒蝕正常工作。
假如采用反射光學係統,則隻需要幾個光學元件就(jiù)能滿足(zú)該應用需求(qiú),由於反(fǎn)射係統不受波長約束。反射係統不會產生散(sàn)射;聚焦隻與幾何麵型有(yǒu)關係,因此(cǐ)不需要用多種元件進行校正。反射光路通過係統(tǒng)(取(qǔ)決於反射鏡的反射率(lǜ))與波長有(yǒu)關,但是波長對其產生的影響並不大。金屬反射膜的光譜範圍有10μm、20μm等,不同的材料有著不(bú)同的反射率,從而答應反射鏡處理從紫外(150nm)到短波紅外(20μm)波段的光。假如需要極高的反射率以避(bì)免激光內部熱源的影響,則需要特(tè)殊的激光膜層,以進步激光波優點的反射率,同時(shí)在其餘波段不會對係統的性能產(chǎn)生影(yǐng)響。
典型(xíng)的反(fǎn)射係統隻有幾個光學元件:一個主(zhǔ)鏡用來聚焦,一個(gè)二級反射鏡將光路進行轉折到更有利的位置。二級反(fǎn)射鏡由一個“三腳架”固定,並(bìng)用一個鏡筒來固定整個光(guāng)學係統。由於這種反射係統簡化了(le)光路,因此與折射係統(tǒng)相比,能夠大幅縮(suō)減本錢,而且可以使(shǐ)結(jié)構變得更加(jiā)緊湊,更加牢固,這是由於通過反(fǎn)射鏡的反(fǎn)射,係統的光軸發生變化(huà),從而減少了(le)係統(tǒng)的長(zhǎng)度。
例如,在麵板檢測以及維修時, 反射係統的優點能(néng)夠得到很(hěn)好的體現:隻需要一個鏡頭就能夠(gòu)代替折射(shè)係統的兩(liǎng)個鏡(jìng)頭,不需要安裝電動移位台器件,體積得到進一步(bù)縮(suō)小,降低了本錢,並(bìng)能夠進步產能,由於在使用時不再需要轉換物鏡。這種簡化版的光學設計(jì)同時意味著(zhe)係(xì)統調整變得更加簡單,比折射係統的投資回報率高(gāo)出了很多。
設計考量
在多光譜應用中,反射(shè)光學係統比折射光學(xué)係統更易於設計和實施;然而,在選擇反射式(shì)物鏡時必須(xū)要考慮以下一些因素:第一就是選擇固定的係統還是可以調整的係統。固定版物鏡在工廠生產的時候就已調整(zhěng)到最(zuì)佳狀態,這種版本即使在震(zhèn)動以及意外碰撞下也不需要(yào)重新校(xiào)準。而(ér)且,由於固(gù)定版物鏡安裝要比可調整版更(gèng)結實可靠,即使從適(shì)當的位置跌落或掉落也不會影響其使用。
使得係統更牢固、更緊湊(còu)
固定版鏡頭非常(cháng)適用於環境惡劣的產業(yè)應(yīng)用,在安裝時(shí)不需要調整。為了具體說明這種物鏡,開發職(zhí)員必須知道變化間隔——要麽(me)無窮遠或特殊的管長,以及蓋玻片厚度。一旦(dàn)布置好後,以後就不需要再進行調整了。
調整版反射物鏡可通過一個或(huò)兩個參數來調整:鏡筒長度可調,或校正由於蓋玻片的厚度變化(huà)而導致的球差。通常隻有鏡頭本身發生改變時才進行調(diào)整,但是,當主鏡和附鏡(jìng)之間的間隔發生變化時,也需要進行調整。廠商(shāng)通常在出貨前會將光學性能調整到最佳狀態,帶(dài)調整說明以及特(tè)殊部位說明,比如調(diào)整圖片。使用者(zhě)可將(jiāng)其安裝在(zài)係統中,可通過鏡筒長度和(hé)蓋玻片厚度(dù)進行調整,然後固定。
當調整型鏡頭(tóu)需要定期調整時,其可通過多重結構來調整,功能多樣。這種鏡頭為現貨供給,比如可與小於典(diǎn)型值長度(dù)的鏡(jìng)筒(tǒng)和蓋玻片厚(hòu)度配套使用,不需要添加其他配件及額外用度就(jiù)能夠滿足用戶的特殊需求。
無論是固定版還是調整版,在購買(mǎi)反射式物鏡(jìng)時都需要留意一些關鍵(jiàn)點。其中最主要的是二級反射鏡以及(jí)三角座(zuò)為成像帶(dài)來的陰影尺寸。二級反射(shè)鏡布(bù)局在主光路上,將不可避免地阻擋一部分光束通過係統,降低光束質量。三角座的三個腿可導(dǎo)致衍射效應(yīng),采用四腳直(zhí)行設計時情(qíng)況更為嚴重。四腿對稱設計各個腳都會導致衍射效應,而且會相互疊加。三腿彎曲設計會避免上(shàng)述缺(quē)陷,使光能(néng)透射更加均勻。
在使用反射物鏡時,另外一個(gè)需要考慮的因素(sù)是激光(guāng)功率。這種反射物鏡采(cǎi)用標準金(jīn)屬膜(mó)層,應(yīng)用範(fàn)圍廣,但卻並不是大功率輸出激光器的最佳選擇。在與高功率激光配套使用時,需要考慮膜層的損傷閾值。有些(xiē)廠商可以根據用戶的要求定製。
反(fǎn)射式物鏡可用於多種應用領域(yù),如激光退火或鑽孔(kǒng),可將可見光波長與紅外功率傳輸兩者相結(jié)合。使用一套光學係統(tǒng)就可丈量波長為190nm到(dào)1μm薄膜的厚度。隻要在傳感器(qì)的響應(yīng)範圍之(zhī)內,成像係統可涵蓋各種波長(zhǎng)範圍而不需要添加任何光學元件(jiàn)。