紅外窗口材料主要用作紅外探測(cè)器和飛行器中的窗口(kǒu)、頭罩或整流罩等(děng),因而,要求材(cái)料在(zài)相應工作波段上具有盡可能高的透過率,自(zì)輻射盡可能小,以免產生假信號。作為窗口材料(liào)還需能夠承受(shòu)惡劣(liè)的(de)環境條件,特別是(shì)能夠承受氣動加速,因此它必須具有較高熔點,在高溫下具有良好的力(lì)學性能,耐(nài)熱衝擊,耐(nài)高低溫交變,耐振動,耐粒子侵蝕和化學穩定性好等特(tè)點。
此外,要易於製成大塊材料,具有良好(hǎo)的加工性能,便於加工成形。ZnSe是(shì)一種優秀的紅外(wài)窗口材料,是紅外透鏡、激光窗口、紅外夜像儀的首選材料。
光(guāng)學加工將影響znSe晶體(tǐ)的宏觀應力。加工中引入的宏觀應力將降低ZnSe晶體的力學性能,並影響作為紅外(wài)窗口材料的雨蝕抗力、熱衝擊抗力和固(gù)體顆粒衝擊(jī)抗力。同時加工中引入的(de)宏觀應力將影響加工之(zhī)後(hòu)的znse晶體鍍膜質量。
化學一機械加工中產生的宏觀應(yīng)力大小與化學機械加工工藝有關(guān),這主要是機械設(shè)備的控製和拋光液的選擇。采用自行設(shè)計的化學一機(jī)械(xiè)加工工(gōng)藝加工ZnSe透鏡,用X射(shè)線衍射分析技術測定(dìng)Z11se器件在加工過程中宏觀應力的變化。
結果表明:加工前(qián)的器件(jiàn)和拋光後器件的宏觀應力相近,說明加工過程對器件的宏(hóng)觀應(yīng)力影響小,這對器件的應用(yòng)非常有利。
同時,證明所選用的拋光液和機械設備參數是理想的,有效地減弱了拋光過程對ZnSe晶格的機械衝(chōng)擊力(lì),加強了拋光(guāng)液的氧化能力,使加工過程中引入加工器件(jiàn)表麵的損(sǔn)傷層厚度接(jiē)近為零,即所采用的Znse晶體化學一機械法是成功的。