由於激光的相幹性, 微型小曲率半徑雙凹球麵擴束鏡表麵或（huò）內部微小疵點、微粒等會在準直後的激光束（shù）周圍產生雜散光斑, 會降（jiàng）低激光束（shù）質量, 增（zēng）大光能耗損, 因（yīn）此在激光器（qì）產品中對微型擴束鏡的質量要求具有與常規透鏡不同的更為嚴格的技術要求, 即（jí）表麵粗糙度必須達到01004 Lm( Ra) , 屬（shǔ）準超光滑表（biǎo）麵.

微（wēi）型擴束鏡加工工藝的特點

( 1) 高速高壓與中速低壓相結合（hé）的工藝超光滑工藝應該用低速（sù）低壓, 在杠杆光（guāng）學機上主軸轉速在10ypm 以下, 壓強在200Pa 以下, 但這樣的參數取砂眼速度很慢, 所以選用高速高壓進行（háng）先期加工（gōng）, 除取砂眼, 達到（dào）初步目的。

( 2) 超微（wēi）粉拋光液與紅粉拋光液的使用一般拋光粉( CeO2) , 其顆粒為幾微米大（dà）小, 甚至幾十微米, 超光滑（huá）工藝要（yào）求1 微米以下, 才有（yǒu）較好的（de）效果, 我們用（yòng）沉降法達到超微粉顆（kē）粒, 也可選（xuǎn）用（yòng）紅粉( FeO3) , 會有更（gèng）好的效果。

( 3) 特（tè）殊的拋光模的作用通常在低速（sù）低壓超光滑工藝中的拋光模不能用聚氨酯（zhǐ）, 應用柏油模, 並且要比常規（guī）的拋光模要軟一號, 而（ér）我們采用了特製的拋（pāo）光模, 使用中速低壓, 並加入潤滑（huá）劑（jì）, 解決傳（chuán）統式的缺（quē）陷, 效果很明顯。

( 4) 工作溫度控製一（yī）般情況（kuàng）下, 高效拋光時（shí）拋光液溫度為25~30 e , 我們而超（chāo）光滑拋光時工作溫（wēn）度為20~ 25 e ,根據拋光（guāng）劑的種類與工件玻璃牌號經過試驗, 確定了（le）符合拋光模條（tiáo）件的更佳工作（zuò）溫度。

( 5) 無（wú）拋光劑拋光超光滑的最後階段（duàn）應該加水拋光, 而我們更注重無雜質的PH 值為7 的中性純淨水進行修正拋光。

( 6) 檢驗方法為防止在檢驗過程中的碰傷或誤檢、漏檢而影響質（zhì）量, 經過研究, 我們選用了無觸點式的激光光（guāng）斑檢驗法, 以確保產品質量的穩定出廠合格率。

微型擴束鏡相對孔徑大, 又是凹（āo）球麵, 要想達到（dào）高等級表麵疵病質量和（hé）準超光滑表麵難度很大, 經過（guò）試驗研究, 已取得了初步成效, 產品一次送檢合格率已達到80% 以上, 且生產效率也很滿意。堅信21世紀是（shì）光電的世紀, 激光領域的前景一定會越來越廣（guǎng）闊, 作者更願與更多的（de）激光器生產企業共同攜手合作, 生產出更多高質量、低（dī）成本的激光準（zhǔn）直擴束鏡, 為激光事業的發展作出更大的貢獻。