平麵度（flatness;planeness)，是屬於形位（wèi）公差中的一種，指物體表（biǎo）麵具有（yǒu）的（de）宏（hóng）觀凹凸高度相對理想平麵的偏差。在傳統的檢測方法中，平麵度的測量通常有：塞規/塞尺測量法、液平麵法（fǎ）、激光平麵（miàn）幹涉儀測量法（平晶幹涉法）、水平儀/數字水平儀測（cè）量法、以及打表（biǎo）測量法。

塞尺測量法，隻需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平麵度的粗（cū）測。目前很（hěn）多工廠仍使用該方法進行檢測。由於其精度不高，常規最薄（báo）塞尺為10um，檢測（cè）效率較低，結果不夠全麵，隻能檢測零件邊緣。

液平麵法，基於連通器工作（zuò）原理，適合測量連（lián）續或不（bú）連續的大平麵的平麵度，但測量時間（jiān）長，且對溫度敏感，僅適用於測量精度較低的平麵（miàn）。

激光平麵幹涉儀測量法，最典型的用（yòng）法（fǎ）是平晶幹涉（shè）法。但主要於測量光潔的小平麵（miàn）的測量，如千分頭測量（liàng）麵，量規的工作麵，光（guāng）學透鏡。

水平儀測（cè）量法，廣泛用於工件表麵的直線度和平麵度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方（fāng）便。但是（shì）用該方法測量時需要反複挪動儀器位置，記錄各測（cè）點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理（lǐ）程序繁瑣（suǒ）。

打表測量法，典型應用為平板測（cè）微（wēi）儀及三（sān）坐標儀，其（qí）中優（yōu）以三坐標儀為應用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量（liàng）點（diǎn）相對於測量基準的數據，再經過數據處（chù）理評定出平麵度誤差。但其效率較低，通常（cháng）一個樣品需（xū）要幾（jǐ）分鍾，離15ppm的期望相差甚遠。