濾光片膜層厚度的均勻性是指膜厚隨著基板表(biǎo)麵位置變(biàn)化而變化(huà)的情(qíng)況。膜厚(hòu)均勻性不好,膜係特性會遭到嚴重的破壞,所以薄(báo)膜厚度的均勻性如同薄膜(mó)厚度監控一樣是一個重要的課題。

對於不同的薄膜往往有不同的均勻性要求。對單層MgF2減反射膜,若膜厚為λ0/4(λ0=520nm),則均勻性誤差一般不得超過40nm,否則就會(huì)在同一基板(bǎn)上出現不同顏色。要求最嚴格的是窄(zhǎi)帶濾光片,其均勻性誤差所引起的整(zhěng)個(gè)濾光片表麵上的峰值(zhí)波長變化不能大於半(bàn)寬度的0.3倍。對於(yú)一個直徑不(bú)大於50mm、在可見光區半寬度不小於20nm的濾光片,這個要求不(bú)算太高,但是對於更大直徑和更窄半寬度的濾光片問題就非常突(tū)出。對截止陡度要求很(hěn)高的截(jié)止濾(lǜ)光片(piàn)也是同樣,均勻(yún)性不好將導致(zhì)過渡性嚴重惡化。

兆九光電憑借技術上的優勢,生產的(de)濾光片都具有極佳的均勻性,得到了客(kè)戶的一致(zhì)好評。