鍍膜(mó)是(shì)一個比較(jiào)有特色的鍍膜技術,在國家863高技術項目的推動下(xià),鍍膜設備和技術不斷得(dé)到更新和改進。同時遇到的問題既具有普遍性又有不(bú)同於(yú)一般小口徑光學元件的特殊性。本文圍繞著(zhe)大型激光反射鏡光學薄膜元件鍍膜中的關鍵問題進行了分析研究。主(zhǔ)要內容包括:
㈠普遍性(xìng)問(wèn)題:大(dà)型(xíng)激光光學元件(jiàn)主要以反射膜為主,在反射膜的鍍製檢(jiǎn)驗中,膜層的環(huán)境穩定性是一(yī)個很重要的指標(biāo)。通過一係列條件實驗研究了膜層的保護性能,對膜層的微觀(guān)結構進行了分析,給出了(le)改善(shàn)附著原因的解釋。光性(xìng)主要是用離子輔(fǔ)助沉積解決了介質膜(mó)層的吸收,寬波段反射膜係設計解決了反射帶的展寬,從(cóng)實驗上獲得了(le)較好的效果。
㈡特殊(shū)性問題(tí):由於大型激光(guāng)光學元件具有很大尺寸(cùn)和重量,因此在整個鍍製過程(chéng)中元件(jiàn)裝卡的安全性,工裝夾具的強度與麵形變化的關係需要深入的研究。應用有限元法對大型激光元件作了靜力學分析,提出了(le)工裝夾具改進(jìn)方案,對(duì)今後將要鍍(dù)製的更大(dà)型的光學薄膜元件的裝卡方(fāng)式和夾具進行了探討(tǎo)。