隨著（zhe）激光技術的發展（zhǎn）, 人們將注意力越來越多地（dì）投（tóu）注到激（jī）光技術在其他技術領（lǐng）域和工業領（lǐng）域的應用上, 並且出現了許多（duō）切合實（shí）際應用（yòng）的（de）新設備。在這些激光應用領域中, 無不涉及到對激光光束的調製和掃（sǎo）描技術早期的激光應用（yòng）係統（tǒng）, 如: 激光切割, 焊接, 打標等設備均采用（yòng）固定激光頭同時沿X一Y 方（fāng）向移動載有（yǒu）被加工物體的平台。這種方式（shì）具有方便和簡潔等特點, 配合高精度的（de）驅動電機和轉動絲杠也可獲得很高的加工精度。但是平台的移動速度和行程均受到很大的限製, 對於在線應用的係統就顯得力不從（cóng）心了。

旋轉多棱鏡是另外一種激光束掃描調製的手段。在這（zhè）種（zhǒng）掃描方式中, 一（yī）個高速旋轉（zhuǎn）的電機帶動（dòng）著多角棱鏡旋（xuán）轉, 激光束投射到棱鏡的表麵上並反射。在棱鏡轉動的過程中, 投（tóu）射到棱鏡表麵激光的入射角發生變（biàn）化從而使反射光完成掃描過程。在這種掃描方式中, 可以實現很高的掃描頻率和較大的掃描角度早期的激光打印機和激（jī）光照排等設備中, 大多使用這種掃描方式。但是旋轉多棱鏡的（de）最（zuì）大缺陷在於（yú）它的掃描效率（lǜ）很低, 因此（cǐ）在一些需要較大的入射孔徑和較高分辨率的應用中, 就不能（néng）令人滿意了。

振鏡（jìng）式掃（sǎo）描是由G e n e r a l cS a n n i n g 實驗（yàn）室發展起來的一種激光掃描技術, 自從1 9 6 5年第一個振鏡掃描頭（tóu）被發明以（yǐ）來, 在掃描精度上和頻率上有了長足的發（fā）展。從目前的掃描性能上來（lái）說, 振鏡（jìng）式（shì）掃描可以算作最好的激光掃描方式之一。它是利用兩個（gè）振鏡掃（sǎo）描頭構成的二維激光掃描成像裝置（zhì）。目前這樣的激光掃（sǎo）描裝置已廣泛地應用到激光（guāng）打標,半導體調阻和共焦顯（xiǎn）微成像（xiàng）係（xì）統中。

通常使用的這種（zhǒng）基於激光掃描的成像技（jì）術稱為“ 激光共（gòng）焦( 顯微) 成（chéng）像（xiàng）” 技術。在（zài）這（zhè）種激光共焦顯微成像係統中, 一（yī）隻固定的高靈敏度點探測（cè）器代替了傳統的C C D。光束（shù）掃（sǎo）描係統（tǒng）(通常采用（yòng）振鏡掃描係統) 將激光光束指向被檢測物體上的一點, 成像（xiàng）係統（tǒng）將（jiāng）來自該點的反射光會（huì）聚於點探測器並構（gòu）成最終（zhōng）成像中的一像素。然後光束掃描係統將激光束指向下一點, 檢測過程再重複進行。如此一點一點進行（háng）測量, 直至（zhì）全部成像完成。與C C D成像方式不同, 在這樣的檢測（cè）過程中, 像素的位置由掃描（miáo）光束的位置確定而不是由( C C D中) 探測器中的固（gù）定檢測單（dān）元決定。因此這（zhè）樣的檢測（cè）方式中, 我們可以通（tōng）過軟件來控製變焦過程。成像像素數目( 分辨（biàn）率) 則由掃描像素時鍾( P i x e l C l o e k )確定。在許多實（shí）際（jì）應用中, 上述技（jì）術( 相幹光加上像素（sù）密度可調節) 較傳統C C D 技術有很大的優越性。這些（xiē）應用包括: 共焦成像（xiàng）, 雙光子激發成像, 熒（yíng）光成（chéng）像, 金屬及玻璃等缺陷檢測/ 監測等過程。